Oリング材料詳細 | 有限会社シーエス・化成

フロロハイパーPシリーズは従来のフッ素ゴムと同等以上の優れた機械特性を持つため、応力のかかる部分や駆動部にも使用が可能です。


フロロハイパーPシリーズは、従来のパーフルオロ系エラストマーシール材と異なり、耐プラズマ性、耐熱性、耐薬品性、耐アミン性、低ガス透過性、低汚染性、優れた機械特性を同時に満足してくれるシール材です。
半導体製造ラインでのドライエッチャーに実際に使用した場合、従来のパーフルオロ系エラストマーシール材に比べ、寿命も長く、ウエハー処理数が実に3倍以上となり、その高性能が実証された例があります。

フロロハイパーP-S75B、P-H75B2および一般的なフッ素ゴムの圧縮永久歪試験結果です。フッ素ゴムに比べ、P-S75BおよびP-H75B2が、高温下において優れた圧縮永久歪特性を持っています。

P-S75Bの硝酸での溶出結果を示したグラフです。この結果は、P-S75Bが低溶出性であることを示しています。また、P-S75Bは、低溶出であると同時に優れた機械強度、耐薬品性（耐アミン性含む）を持つため、半導体プロセスのレジストはく離液等のシール材に最適です。

従来のパーフルオロ系エラストマーは、高温（200〜230℃）で使用する際に、シール部に金属との固着が見られ、その脱着作業が困難を極めるとの実例報告が数多くなされています。
フロロハイパーP-S75B及びP-S75Wは、従来型のパーフルオロ系エラストマーシール材に比べ、金属固着力が小さいため、脱着作業性を大きく改善することができます。
フロロハイパーP-S75B、P-S75Wそれぞれについて行った高温での金属固着力試験結果のグラフです。フロロハイパーP-S75B、P-S75Wの各グレードの金属固着力は、フッ素ゴムと同等であるため、金属固着問題の解決に大きく貢献します。

(1)P-S75B（標準グレード）

フロロハイパーP-S75B（標準グレード）は、空気中及びフッ化水素ガス中200℃×720時間の試験の結果、「硬さ」「引張り強さ」「伸び」の変化は特に見られません。

(2)P-H75B2（特殊耐熱グレード）

フロロハイパーP-H75B2（特殊耐熱グレード）は、高温領域で使用可能です。

フロロハイパーPシリーズは、高温でも放出ガス量が少なく、クリーンな真空度が要求される半導体製造装置などのシール材として最適です。
従来のフッ素ゴム、及び当社外品のパーフルオロ系エラストマーシール材とガス発生率を比較したデータです。

フロロハイパーP-S75B、P-H75B2は、ガス透過性が従来のフッ素ゴムシール材の約1/5と非常に小さく、高い真空度が要求される半導体製造装置などのシール材として最適です。
従来のフッ素ゴム、及び当社外製品のパーフルオロ系エラストマーとのガス透過性を比較したデータです。

フロロハイパーP-S75B、P-H75B2は、一般的なフッ素ゴムに比べ、腐食性ガス（Cl系、F系等）に対し優れた耐性を持っています。

(1)各種薬品との適合性

フロロハイパーP−S75B（標準グレード）の浸漬試験の結果です。
※実際のご使用にあたっては、具体的な使用条件の適合確認の試験を行って下さい。

(2)耐アミン性

フロロハイパーP-S75B、当社外製品パーフルオロ系エラストマーシール材、フッ素ゴム系シール材、それぞれの耐アミンについての比較試験を行った結果から、P-S75Bには、優れた耐アミン性があることが判ります。したがって、アンモニアガス、腐食性強酸ガスなどを同時に使用するCVD装置の排気ラインにも使用することができます。

(2)-1　P-S75Bと当社外製品パーフルオロ系エラストマーシール材のアミン浸漬後の圧縮永久歪み比較試験

(2)-2　P-S75Bとフッ素ゴムのアミン化合物によるクラック発生までの時間の比較試験